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本文圍繞研磨、加工、工件、流體、作用、進行、拋光、機械、利用、化學(xué)反應(yīng)等有關(guān)詞展開編寫的關(guān)于超精密研磨拋光的主要技術(shù)介紹的研磨加工工件相關(guān)文章，僅供大家了解學(xué)習(xí)。

超精密研磨拋光主要技術(shù)介紹

1.在液體中研磨

將超精密拋光磨具面和工件浸泡在含有磨粒的磨料中，借助水波效應(yīng)，在充足的加工液中用游離的細(xì)小磨粒進行磨削，對磨粒產(chǎn)生的熱量有極好的冷卻作用，對磨削過程中的小沖擊有緩沖作用。

2.機械化學(xué)研磨

化學(xué)研磨是通過化學(xué)反應(yīng)進行的機械研磨。有濕磨和干磨兩種。

濕法機械化學(xué)研磨用于硅晶片的zui終精加工。該研磨劑含有0.01um的二氧化硅磨粒，在弱堿性膠體溶液中，與之配套的磨具是涂有精細(xì)結(jié)構(gòu)的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基酸的人造革。

干態(tài)機械化學(xué)研磨是一種利用工件和磨粒之間化學(xué)反應(yīng)的研磨方法。干燥條件下小范圍的化學(xué)反應(yīng)有利于加工，因為粒徑為0.01—0.02的二氧化硅磨?；瘜W(xué)活性強，研磨量大。

3.磁流體精密研磨

磁流體是在液相中分散成膠體大小的鐵磁粉(

磨料懸浮加工是一種利用懸浮在液體中的磨粒進行可控精密磨削的加工工藝。磨削裝置由磨削加工部分、驅(qū)動部分和電磁部分組成。磨料控制加工是預(yù)先將磨粒放入磨具的孔中，通過磁流體的作用將磨料逐漸輸送到磨盤上。封閉式磁流體處理是通過橡膠板將磨粒從磁流體中分離出來。

4.磁力研磨

利用磁場，磁極之間的磁性磨料形成刷子一樣的磨料，吸附在磁極的工作面上。在磨料與工件的相對運動下，實現(xiàn)工件表面的磨削效果。這種加工方法不僅可以磨削圓周面、平面和邊緣，還可以磨削凹凸不平的復(fù)雜曲面。

5.軟磨粒的機械拋光(彈性發(fā)加工)

小切削可以達到原子級，直到切掉一層原子，被加工表面的晶格不會變形，從而獲得表面粗糙度極小、材料極其純凈的表面。加工原理的實質(zhì)是磨粒擴散和微小顆粒加速彈性出的力學(xué)效應(yīng)的綜合作用。靜電粉末粒子在真空、氣流或水流中加速。

6.化學(xué)機械拋光

化學(xué)拋光是一種利用研磨液的腐蝕和磨粒的機械作用的拋光方法。蝕刻液，如氧化鐵和硫酸或鹽酸的水溶液、錳鋅鐵氧體磨粒和鹽酸的水溶液等。

7.水合拋光

它是利用工件界面上的水化化學(xué)反應(yīng)進行磨削的方法。其主要特點是不使用磨粒和加工液，加工裝置類似于目前使用的磨盤或拋光機，只是在水蒸氣環(huán)境下加工。

機理:在拋光過程中，兩個物體在接觸區(qū)域產(chǎn)生相對摩擦和高溫高壓，因此工件表面的原子或分子被激活。利用水蒸氣分子或過熱水作用于界面，在界面上形成一層水化化學(xué)反應(yīng)層，然后在一個大氣壓的水蒸氣環(huán)境中，借助過熱水蒸氣或外部摩擦，將這一層水化層從工件表面分離去除，從而實現(xiàn)鏡面加工。

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